硅异质结（ＳＨＪ）太阳能电池是目前光伏产业中的重要组成部分，其由于具有高开路电压（Ｖｏｃ ）等优点而引起了广泛的关注。 在硅异质结太阳能 电池中，透明导电氧化物（ＴＣＯ）薄膜层的光学性能和电学性能分别影响着电池的短路电流（ Ｊｓｃ ）、填充因子（ＦＦ），进而影响电池的转换效率。 近年 来，ＳＨＪ 电池中 ＴＣＯ 层的研究主要集中于掺杂的 Ｉｎ２Ｏ３ 和 ＺｎＯ 体系。 本文从硅异质结太阳能电池的不同结构出发，概述了 ＴＣＯ 薄膜的光电性能 （透过率、禁带宽度、方块电阻、载流子浓度、迁移率和功函数）以及与相邻层的接触对电池性能的影响，介绍了不同体系的透明导电氧化物薄膜在硅 异质结太阳能电池中的应用及研究现状，并展望其未来的发展趋势。