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el麻点解决

成峰2021-03-06 17:06

正面密集型麻点，刻蚀机台各状态都已验证无异常，暂时未锁定工序。

共4回答

我来回答

细风微雨待采纳

以前遇到过三类，表征跟这个相似，第一类：刻蚀污染和溶液循环不良导致的，第二类：镀膜进出炉处扬尘引起的；第三类：烧结处接触不良导致。

发表于：2021-03-06 19:17

Phanson待采纳

丝网集尘器超1.5kpa的要求清理。

发表于：2021-03-06 17:28

天天光伏待采纳

激光卫生搞一下

发表于：2021-03-06 17:24

张景洋待采纳

成膜工序卫生好好打扫吧

发表于：2021-03-06 17:23

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