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石英舟黑斑可以从哪几个方面排查,各位大佬支个招
promise2022-03-08 20:47
1石英舟黑斑爆发点与上线石英舟已排查,舟已下线清洗 2.制绒带液烧焦,对应石英舟已下线清洗 3.EL PL已测试,扩散、氧化石英舟逐机台清洗 4.实验跟踪验证中,清洗石英舟溶液已确认,验舟PH OK
共5回答
最后的双鱼已采纳
同位置同类型的有好几种,我们这叫顶齿脏污,产生原因有: 1.石英舟下槽棒位置和插片机花篮顶齿位置(位置接近不好区分),主要是制绒碱抛带液片污染扩散退火的晶舟和顶齿导致,还有晶舟清洗不干净,清洗机槽体污染导致,需要泡槽 2.插片机的石英舟顶齿位置,一般也是带液导致 3.微导铝舟舟齿位置,这个和石英舟的位置也比较接近,主要是铝舟受潮,多饱和几轮 4.背膜导致,主要集中在花篮开口方向,位置不太固定,有和上述位置重合的,具体原因未找到,可以通过饱和镀膜炉管改善
发表于:2022-03-10 11:54
promise待采纳
两点式与石墨舟卡点位置能对上,与石英舟接触舟齿位置也能对上,三个点、四个点EL也在出,通过验证扩散石英舟因制绒后带液污染,目前已隔离对应石英舟
发表于:2022-03-09 17:42
promise待采纳
卡点印也能对得上,maia框印没有验证,对应SE机台比较集中,片子外观无过刻,最近机台通过大量下舟洗舟,石英舟黑斑数量已明显减少
发表于:2022-03-09 17:35
风华正茂待采纳
卡点印能不能对的上,maia框印有对比验证吗?片子外观有没有过刻
发表于:2022-03-09 15:34
郭宏伟待采纳
这确定是石墨舟印?
发表于:2022-03-09 14:58
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