近年来，PERC工艺普加激光SE选择性发射极技术和碱背面抛光技术已然成为新增PERC 产线的标准配置。 但激光的高频脉冲会使SE重掺杂区的PSG(磷硅玻璃)层遭到一定程度的破坏，造成后续碱抛工艺中使用的化学药液会腐蚀没有保护的重掺杂区，最终导致电池片效率降低。通过对比两种不同的碱抛前氧化方式在激光光斑宽度、方阻以及电池性能方面的差异，选取更适合产线的前氧化工艺方式，从而实现碱抛和SE两种工艺对电池效率的正向叠加提升。关键词:SF选择性发射:碱抛:前氧化:电池效率