摘 要： 随着太阳能光伏发电对晶体硅电池高转化效率需求的不断增加，对晶体硅电池技术关键 设备投资性价比和发电性能的要求更高。 对晶硅电池发展工艺技术进行了阐述，分析讨论了国内 外隧穿氧化层钝化接触电池（简称“TOPCon”）低压硼扩散炉的发展现状，探讨了硼扩散设备技术 难点和未来研究方向。 关键词： 太阳能；光伏发电；隧穿氧化层钝化接触电池；高转化效率；硼扩散