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文件叙述0291.LPCVD在光伏产业的应用
扎西德勒~福寿康宁
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文件关于P扩散引起的金属化复合研究
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PN结形成原理
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碱抛背面为金字塔塔基,表面平坦 酸抛背面仍为腐蚀坑洼结构 通过调整碱抛光的刻重,抛光度可调 塔基大小,对应背反30%-50%,最高 减重在0.4g左右;酸抛光通过增加 HF/HNO3耗量,也可以将减重做到 0.3g左右,但耗酸量极大。
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湿化学表面处理对硅片表面粗糙度及界面态的影响
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