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根据友达光电使用CVD形成的微晶硅,试制出的32in电视用TFT液晶面板来看,与非晶硅(a-Si)相比,采用μCSi-TFT有可能获得更高的迁移率,另外,还可实现用多晶硅p-Si-TFT难以实现的、基于第5带以后大尺寸底板的工艺。
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一、硅片尺寸的发展 二、组件焊接端投资 三、大硅片多切 四、硅片尺寸的发展 五、增大硅片尺寸的驱动力
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N型高效单晶硅片技术概况及展望
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关于单多晶硅片生产工艺流程详解
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