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PERC 激光参数对“SE PERC”单晶硅太阳电池电性能的影响

以添加了选择性发射极(SE)工艺的“SE+PERC”单晶硅太阳电池为研究对象，通过改变 SE激光掺杂处理时的激光功率、激光频率和激光扫描速度这3个参数，研究了不同激光参数对硅片的方阻差值、激光光斑形貌、硅片绒面微观结构，以及“SE+PERC”单晶硅太阳电池电性能等方面的影响。研究结果表明:澛光光斑重叠率随着激光频率的增大而增大，随着激光扫描速度的增大而减小，与激光功率无关，激光功率越大、激光频率越小或激光扫描速度越小，硅片的方阳差值越大，对硅片绒面金字塔结构的损伤越大。因此， “SE+PERC”单品硅太阳电池生产线需结合自身情况，在SE激光掺杂处理时优配合话的激光功率、激光频率和激光扫描速度等激光参数。研究结果对今后“SE+PERC”单晶硅太阳电池生产线选择合适的SE激光参数具有一定的参考价值。

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PERC SE PERC高效电池碱抛前氧化工艺研究

近年来，PERC 工艺叠加激光 SE选择性发射极技术和碱背面抛光技术已然成为新增 PERC产线的标准配置。但激光的高频脉冲会使 SE 重掺杂区的 PSG(磷硅玻璃)层遭到一定程度的破坏，诰成后续碱抛工艺中使用的化学药液会腐蚀没有保护的重掺杂区，最终导致电池片效率降低。通过对比两种不同的碱抛前氧化方式在激光光斑宽度、方阻以及电池性能方面的差异，选取更适合产线的前氧化工艺方式，从而实现碱抛和.SE两种工艺对电池效率的正向叠加提升。

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PERC “SE PERC”单晶硅太阳电池制绒工艺中微观绒面的研究

制绒是太阳电池表面处理过程中不可或缺的环节，制绒效果的好坏直接决定了太阳电池光电转换效率的高低，而金字塔尺寸的大小与排列的均匀程度是表征制绒效果的重要参数，同样会影响太阳电池的光电转换效率。以采用选择性发射极(SE)及钝化发射极和背接触(PERC)技术的单晶硅太阳电池(即“SE+PERC”单晶硅太阳电池)为例，通过调整该太阳电池制绒工艺中的工序内容，测试了工序内容调整后硅片制绒面的金字塔尺寸，测试结果显示:在制绒槽排出的溶液量与补加进去的溶液量相等的基础上，增加粗抛时的减重，降低NaOH 溶液浓度或提高制绒添加剂的浓度，均可形成小而均匀的金字塔结构的绒面，从而可降低制备的“SE+PERC”太阳电池的接触由阻和漏电流，提升其光申转换效率。

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PERC Al2O3_SiOxNy_SiNx叠层钝化膜对PERC太阳电池性能及LID效应的研究

由于等离子体增强化学的气相沉积(PECVD)法制备的SiON薄中含有大量H子,因而具有优异的表面钝化性能。通过在PERC太阳电池的AbO:/SiN.背钝化叠层中间插入一层SiO.N薄膜形成AbO:/SiO.N/SiN.结构,可避免SiN,所带的适定正电荷对AbO:负电荷场钝化效应的负面影响。

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PERC SE-PERC高效电池碱抛前氧化工艺研究

近年来，PERC工艺普加激光SE选择性发射极技术和碱背面抛光技术已然成为新增PERC 产线的标准配置。但激光的高频脉冲会使SE重掺杂区的PSG(磷硅玻璃)层遭到一定程度的破坏，造成后续碱抛工艺中使用的化学药液会腐蚀没有保护的重掺杂区，最终导致电池片效率降低。通过对比两种不同的碱抛前氧化方式在激光光斑宽度、方阻以及电池性能方面的差异，选取更适合产线的前氧化工艺方式，从而实现碱抛和SE两种工艺对电池效率的正向叠加提升。关键词:SF选择性发射:碱抛:前氧化:电池效率

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