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TOPCon电池低压硼扩散设备的发展趋势分析
摘 要: 随着太阳能光伏发电对晶体硅电池高转化效率需求的不断增加,对晶体硅电池技术关键 设备投资性价比和发电性能的要求更高。 对晶硅电池发展工艺技术进行了阐述,分析讨论了国内 外隧穿氧化层钝化接触电池(简称“TOPCon”)低压硼扩散炉的发展现状,探讨了硼扩散设备技术 难点和未来研究方向。 关键词: 太阳能;光伏发电;隧穿氧化层钝化接触电池;高转化效率;硼扩散
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